DRF系列羅茨真空泵

DRF系列羅茨泵真空泵是一款技術成熟的真空獲得設備，與前級泵配合組成后，擴展了前級真空泵在較低入口壓力下的工作范圍，可應用于廣泛的工業用途。

●提高真空度

按照一般經驗，在配置羅茨真空泵后，系統真空度可提高1個數量級，如配備兩級羅茨泵，系統真空度可進一步提高。

●增大抽速

羅茨泵的一對轉子在轉動時沒有相互接觸，因此可以高速運轉，幾何尺寸較小的羅茨泵也能達到較高的抽速。通過選擇合適的前級泵與羅茨泵組合，可使小抽速的前級泵實現抽除大量氣體，相比相同抽速的單一前級泵，可明顯降低能耗。

●無油運行

羅茨泵的泵腔內無油，因此抽送介質不會被污染。

優越特性

因為傳動結構采用了柔性的液力裝置-一種高效的動力傳動方式，DRF系列羅茨真空泵擁有緊湊的結構以及如下的優越特性：

●真空系統可以在減少配置旁路管道及閥門或者省略變頻器的設計條件下，獲得遠超傳統增壓泵的整體抽速效果，硬件成本節約顯著，控制要求明顯降低;

●液力傳動結構可以自動調整泵的轉速，即使泵在高壓下工作，電機也不會過載或過熱;

●相比傳統的直聯傳動，即使在入口壓力驟變或者吸入異物時，泵業不會損壞，停機故障率可大大降低;

●DRF系列羅茨真空泵可以與前級泵同時在大氣壓下啟動而不會使電機過載，因此可以更早的作用于整個抽空過程，從而明顯縮短抽空時間，特別適用于需要快速抽空的場合;

●非常安靜平穩的運行，更微小的振動;

●可靠的軸封結構可以確保潤滑液不會進入泵腔內;

●因為無需旁通管路和閥門等，泵的維護也相當簡單。

應用領域

工業：醫療技術、工業檢漏、電子束焊接、真空隔離、燈具燈管制造、熱處理、真空干燥，凍干、真空爐，冶金工程。

研發：核子研究、融化技術、等離子體研究、粒子加速器、空間模擬、低溫研究、基本粒子物理、納米技術、生物技術。

涂層、鍍膜：平板顯示器、LED/OLED、硬盤涂層、光伏電池、玻璃鍍層、CD-DVD-藍光、光學鍍膜、耐磨涂層。

半導體：光刻，平面印刷、物理氣相沉積PVD、化學氣相沉積CVD、等離子刻蝕、離子注入、光束注入、檢視、粘合、分子束外延。